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集成电路制造过程中的关键技术是（ ）
A、超净技术
B、超微技术
C、超高纯度技术
D、超微细加工技术
【正确答案】：ACD
【题目解析】：集成电路制造过程中的关键技术是：超净技术、超高纯度技术、超微细加工技术。